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金融界2025年8月23日动静，国度学问产权局消息显示，公开号CN120527225A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，一种离子注入角度校准方式及安拆，涉及离子注入手艺范畴，包罗以下步调：S1：将治具放置到任一片库的肆意晶圆槽内；S2：节制片库从动成立线：节制机械手将治具正在晶圆槽挪动至定向台，节制定向台按照预设角度扭转，对治具进行定向；S4：节制机械手将治具自定向台挪动至靶台；若治具中的指针偏于零刻度线的角度跨越M，则施行步调S5；S5：节制定向台正在预设角度的根本上扭转一个弥补角度，完成离子注入角度的校准。无需进行复杂的成果拟合和阐发，便利快速且容易实施，可以或许无效降低角度监测以及校准的成本，了角度监测以及校准的精确性和靠得住性。
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